三坐標測量儀是指在一個六面體的空間範圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床.

        三坐標測量儀又可定義「一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器」。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等.

        將被測物體置於三坐標測量空間，可獲得被測物體上各測點的坐標位置，根據這些點的空間坐標值，經計算求出被測物體的幾何尺寸，形狀和位置.

        基本原理就是通過探測傳感器（探頭）與測量空間軸線運動的配合，對被測幾何元素進行離散的空間點位置的獲取，然後通過一定的數學計算，完成對所測得點（點群）的分析擬合，最終還原出被測的幾何元素，並在此基礎上計算其與理論值（名義值）之間的偏差，從而完成對被測零件的檢驗工作.

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