关键字:三坐标测量机,导轨,轴承,气浮导轨

前言:在三坐标测量机里导轨是保证机器平稳、高精度运动的关键,目前主要采用气浮导轨及直线滚珠导轨两种形式.

气浮导轨
气浮导轨的核心是气浮轴承,利用气浮轴承小孔节流形成气腔内的高压,在导轨和气浮轴承间形成具有一定承载能力和刚性的薄膜,气浮导轨具有无摩擦及无磨损的特性,由于匀差效应,运动的局部直线度及角度摆动较小,精度较高的测量机一度采用气浮导轨.
气浮轴承的性能有四个要求:承载能力,承载刚性(气浮间隙每变化一微米承载能力的变化),耗气量,搞气振能力;其它的要求还包括防锈性能、安装的工艺性,支承等的载荷设计亦不能忽略,对超高精度测量机,气浮间隙及气腔压力的稳定至关重要,超高精度测量机往往设计气浮轴承压力检查引出孔.

直线滚珠导轨
采用直线滚珠导轨的优点是省去全套压缩空气设备及气动控制组件,成本较低,适用于无气源的环境,它刚性较好,承载能力强,比简单的滚珠轴承,受个别滚珠疵瑕的影响要小,有一定的匀差效应,但由于钢球及导轨原因,该结构的测量机精度稍低,摩擦力较大,因而控制性能亦与气浮导轨特性不同,它的安装、调整找正对整机的性能的影响亦较大.